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结构与规格

DLC-1112 系列是一款专为类金刚石涂层(DLC,Diamond-Like Carbon)及减磨功能膜设计的大型真空离子镀膜设备。腔体净尺寸为 1100 × 1200 mm(H),有效镀膜区域为 900 × 900 mm(H),可同时处理多件大型工件。圆柱形腔体结构配合双层冷却水套,能在沉积过程中有效控制温度,保持稳定的热分布,从而确保膜层的致密性与均匀性。该设计特别适合对耐磨性、硬度和附着力要求较高的工业零件。

离化源与工艺配置
DLC-1112 系列配备多种离化源配置,支持不同类型的类金刚石膜(a-C、a-C:H、ta-C 等)及复合膜工艺。设备提供两种型号可选:

DLC-1112A 型

  • 配置 4 台阳极层离子源(1500V / 10kW)

  • 配置 4 台磁控阴极
    该结构可在较高离化能量下生成高硬度 DLC 膜层,膜质致密,附着力强,适合要求极高硬度和耐磨性的工件。

DLC-1112B 型

  • 配置 2 台阳极离化源(10kW)

  • 配置 4 个柱状磁控靶
    该方案在保证膜层硬度的同时,提升韧性与附着力,适用于兼顾抗冲击与耐磨性能的工件,如汽车零部件、刀具及模具表面。

电源系统配置
A 型:磁控电源 2 台 + 单脉冲偏压电源 1 台
B 型:磁控电源 4 台(20kW) + 单脉冲偏压电源 1 台
多电源组合使设备可灵活切换不同能量与沉积模式,兼顾高硬度膜与高韧性膜的工艺需求。

真空与控制系统
系统采用高性能分子泵机组与机械前级泵配合运行,可快速建立并维持高真空环境,有效降低杂质和氧化风险,保证膜层纯净度。全自动控制平台支持离化源功率、偏压电压、气体比例、靶功率等核心参数的精确设定与实时监控。系统具有工艺数据记录与追溯功能,可保存多组工艺配方,适合连续批量化生产。

膜层性能

  • A 型:涂层硬度 ≥ 3000 HV,膜层厚度 2–3 μm,膜质致密,耐磨性极强,适合高负载、高摩擦环境。

  • B 型:涂层硬度 ≥ 2500–2800 HV,韧性优良,抗冲击性能更佳,适合精密模具与机械部件。

应用范围
DLC-1112 系列可广泛应用于以下领域:

模具表面防护
适用于冲压模具、注塑模具、压铸模具,提高表面硬度、减少磨损与粘模现象,延长模具寿命。

刀具与切削工具
适用于车刀、铣刀、钻头、滚刀等工具,降低切削摩擦,提高切削速度与稳定性。

机械运动部件
用于轴承、活塞环、阀体、凸轮等摩擦部位,减少能量损耗,提高机械效率与使用寿命。

装饰性涂层
可在手表、饰品、电子产品外壳等表面形成黑色、灰色或金属光泽的 DLC 膜层,兼具装饰性与耐磨性。

DLC-1112 采用阳极层离子源与磁控溅射技术相结合,可根据工件要求灵活调整涂层结构与性能,实现高硬度、高附着力与优良的摩擦性能。凭借其大尺寸腔体、高真空环境与智能控制系统,该系列设备广泛应用于模具制造、精密机械、汽车零部件及高端装饰品领域,是生产高品质 DLC 膜的理想解决方案。


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