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结构与规格
PVD-1213 系列是一款专为高温合金表面防护与功能涂层设计的真空离子镀膜设备。设备采用圆柱形腔体结构，腔体净尺寸为 Φ1200 × 1300 mm（H），有效沉积区为 1000 × 1000 mm（H），可同时处理多件中大型工件。腔体配备双层循环冷却水套，可在高能量沉积条件下保持温度稳定，防止工件过热或涂层应力失衡，确保沉积过程的长期稳定性与重复性。前开门设计便于操作与维护，适合航空、能源动力及科研领域的高要求镀膜工艺应用。
弧源与工艺配置
设备配备 16 个高性能阴极弧源（Φ100 × 40 mm），结合高能单脉冲直流弧电源，实现高离化率与高沉积速率的涂层制备。弧源产生的高能离子可在基材表面形成致密、附着力强、抗氧化性能优异的涂层。
系统配置如下：
弧源 × 16 台
单脉冲直流弧电源 200A × 16 台
偏压电源（HorTeng Truplasma 4020，40 kW）× 1 台
离子清洗装置（AEGD）× 1 套
通过离子清洗技术，可在沉积前有效去除工件表面氧化层与污染物，提高膜层结合质量。该系统支持多弧源协同沉积与分层工艺，可根据需要形成不同结构的涂层，如复合层、渐变层或多功能防护层。
常用靶材包括高温合金 NiCrAlY、MCrAlY 及其他镍基或钴基合金。这些材料可在工件表面形成抗氧化、防腐蚀的金属防护膜层，为高温环境下的关键部件提供可靠保护。
真空与控制系统
PVD-1213 配备高效分子泵与机械前级泵组合的真空系统，可在短时间内建立高真空环境，减少氧化与杂质污染，确保涂层纯净度。全自动化控制平台支持多通道参数设定与实时监控，可精准调节弧源功率、偏压电压、气体流量及沉积时间。系统具有数据记录与追溯功能，可保存工艺曲线与批次信息，便于生产质量控制与工艺优化。
应用范围
PVD-1213 主要用于高温防护及耐氧化涂层的制备，广泛应用于航空、能源和工业领域中需要承受极端温度与腐蚀环境的关键部件，包括：
高温合金防护层
用于镍基或钴基合金零件表面，提高其抗氧化与抗腐蚀性能，延长服役寿命。
航空发动机与燃气轮机叶片
为涡轮叶片、燃烧室及导向叶片提供耐高温防护涂层，防止氧化和热疲劳损伤。
工业燃气轮机热端部件
用于燃气轮机的热端零部件，如导向叶片、喷嘴环等，提升耐热稳定性和热效率。
耐高温防腐蚀层
用于化工设备、热交换器及高温管路的表面防护，防止高温氧化、硫化及腐蚀。
PVD-1213 系列结合多弧源高能离子沉积与先进离子清洗技术，能够在高温合金表面形成致密、附着力强且耐高温氧化的防护膜层。其高稳定性、可重复性和灵活的工艺控制使其成为航空发动机、燃气轮机及能源装备制造领域理想的高端 PVD 涂层设备。
